Senzor tlaka motora 2CP3-68 1946725 za Carter bagera

Metoda pripreme senzora tlaka, karakterizirana sastojanjem od sljedećih koraka:

S1, pružajući vafer sa stražnjom površinom i prednjom površinom; Formiranje piezorezistične trake i jako dopiranog kontaktnog područja na prednjoj površini reza; Formiranje tlačne duboke šupljine utiskajući stražnju površinu rezine;

S2, povezivanje potpornog lista na stražnjoj strani rezina;

S3, Proizvodnja olovnih rupa i metalnih žica na prednjoj strani vafelja i povezivanja piezorezističnih traka za oblikovanje mosta Wheatstone;

S4, odlaganje i oblikovanje pasivizacijskog sloja na prednjoj površini vafelja i otvaranje dijela pasivizacijskog sloja kako bi se stvorio područje metalne jastučiće. 2. Metoda proizvodnje senzora tlaka prema zahtjevu 1, naznačeno, na kojoj S1 posebno sadrži sljedeće korake: S11: Osiguravanje vafera stražnju površinu i prednju površinu i definiranje debljine filma osjetljivog na tlak na rezinu; S12: Implantacija iona koristi se na prednjoj površini vafera, piezorezistivne trake proizvode se postupkom difuzije visoke temperature, a kontaktne regije su jako dopirane; S13: odlaganje i formiranje zaštitnog sloja na prednjoj površini reza; S14: jetkanje i formiranje pritiska duboke šupljine na stražnjoj strani vafera kako bi se stvorio film osjetljiv na pritisak. 3. Metoda proizvodnje senzora tlaka prema zahtjevu 1, naznačeno je da je vafer SOI.

1962. Tufte i sur. Izrađivao je piezorezistivni senzor tlaka s difuznim silicijskim piezorezističnim trakama i strukturom silicija filma prvi put, te je započeo istraživanje piezorezivnog senzora tlaka. Krajem 1960 -ih i početkom 1970 -ih, pojava tri tehnologije, naime, silikonska anizotropna tehnologija jetkanja, tehnologija implantacije ionske implantacije i tehnologija anodne veze, donijela je velike promjene u senzoru tlaka, koji je igrao važnu ulogu u poboljšanju performansi senzora tlaka. Od 1980 -ih, s daljnjim razvojem tehnologije mikroturiranja, poput anizotropnog jetkanja, litografije, difuzijskog dopinga, implantacije iona, vezanja i premaza, veličina senzora tlaka kontinuirano se smanjuje, osjetljivost je poboljšana, a izlaz je visok i performanse je izvrsna. Istodobno, razvoj i primjena nove tehnologije mikroračunanja čine debljinu filma senzora tlaka precizno kontroliranom.