Senzor pritiska motora 2CP3-68 1946725 za bager Carter

Metoda za pripremu senzora tlaka, naznačena time što uključuje sljedeće korake:

S1, osigurava pločicu sa stražnjom površinom i prednjom površinom; Formiranje piezorezistivne trake i jako dopiranog kontaktnog područja na prednjoj površini pločice; Formiranje duboke šupljine pod pritiskom nagrizanjem stražnje površine pločice;

S2, lijepljenje potporne ploče na poleđini pločice;

S3, izrada olovnih rupa i metalnih žica na prednjoj strani pločice, te spajanje piezorezistivnih traka u Wheatstoneov most;

S4, taloženje i formiranje pasivizirajućeg sloja na prednjoj površini pločice i otvaranje dijela pasivizacijskog sloja kako bi se formiralo područje metalne podloge. 2. Metoda proizvodnje senzora tlaka prema zahtjevu 1, naznačena time, da S1 posebno uključuje sljedeće korake: S11: osiguravanje pločice sa stražnjom površinom i prednjom površinom, i definiranje debljine filma osjetljivog na pritisak na pločici; S12: ionska implantacija se koristi na prednjoj površini pločice, piezorezistivne trake se proizvode postupkom visokotemperaturne difuzije, a kontaktna područja su jako dopirana; S13: taloženje i stvaranje zaštitnog sloja na prednjoj površini pločice; S14: jetkanje i formiranje duboke šupljine na stražnjoj strani pločice kako bi se formirao film osjetljiv na pritisak. 3. Metoda proizvodnje senzora tlaka prema zahtjevu 1, naznačena time što je pločica SOI.

Godine 1962. Tufte i sur. prvi put je proizveo piezorezistivni senzor tlaka s difuznim silicijskim piezorezistivnim trakama i strukturom silicijskog filma te započeo istraživanje piezorezistivnog senzora tlaka. Kasnih 1960-ih i ranih 1970-ih, pojava triju tehnologija, naime tehnologije anizotropnog jetkanja silicija, tehnologije ionske implantacije i tehnologije anodnog spajanja, donijela je velike promjene u senzor tlaka, što je odigralo važnu ulogu u poboljšanju performansi senzora tlaka. . Od 1980-ih, s daljnjim razvojem tehnologije mikrostrojne obrade, kao što je anizotropno jetkanje, litografija, difuzijsko dopiranje, ionska implantacija, lijepljenje i premazivanje, veličina senzora tlaka je kontinuirano smanjena, osjetljivost je poboljšana, a izlaz je visok i performanse su izvrsne. U isto vrijeme, razvoj i primjena nove tehnologije mikrostrojne obrade čine debljinu filma senzora tlaka točno kontroliranom.