Primjenjiv na Passat gorivo Obični senzor tlaka u željezničkoj željeznici 06E906051K

1. Metoda za formiranje senzora tlaka, koja sadrži:

Pružajući poluvodički supstrat, pri čemu je prvi sloj dielektričnog sloja prvog međuslojnog sloja, prvog dielektričnog sloja međusloja i drugog dielektričnog sloja međuslojnog sloja formiran na podlozi poluvodiča.

Donja ploča elektroda u prvom sloju dielektričnog sloja, prve uzajamne elektrode smještene na istom sloju kao i donja ploča elektrode i razmaknuta.

Povezivanje slojeva;

Tvoreći žrtveni sloj iznad donje polarne ploče;

Formiranje gornje ploče elektroda na prvom sloju dielektričnog sloja, prvog sloja međusobnog povezivanja i žrtvenog sloja;

Nakon formiranja žrtvenog sloja i prije formiranja gornje ploče, u prvom sloju međusobnog povezivanja

Formiranje utora za priključak i popunjavanje utora za priključak s gornjom pločom da se električno poveže s prvim slojem međusobnog povezivanja; Ili,

Nakon formiranja gornje ploče elektroda, u gornjoj ploči elektroda formiraju se utorke za spajanje i prvi sloj međusobnog povezivanja, koji

Formiranje vodljivog sloja koji povezuje gornju ploču elektroda i prvi sloj međusobnog povezivanja u priključkom utora;

Nakon električnog spajanja gornje ploče i prvog sloja povezivanja, uklanjanja žrtvenog sloja u obliku šupljine.

2. Metoda formiranja senzora tlaka prema zahtjevu 1, u kojoj u prvom sloju

Metoda za formiranje žrtvenog sloja na sloju međuslojnog dielektričnog sloja sastoji se od sljedećih koraka:

Odlaganje žrtvenog materijalnog sloja na prvi sloj međuslojnog dielektričnog sloja;

Uzorkovanje žrtvenog materijalnog sloja da bi se stvorio žrtveni sloj.

3. Metoda za formiranje senzora tlaka prema zahtjevu 2, u kojoj se koriste fotolitografija i graviranje.

Sloj žrtvenog materijala uzorkovan je postupkom jetkanja.

4. Metoda za formiranje senzora tlaka prema zahtjevu 3, naznačena je da žrtveni sloj

Materijal je amorfni ugljik ili germanij.

5. Metoda za formiranje senzora tlaka prema zahtjevu 4, naznačena je da žrtveni sloj

Materijal je amorfni ugljik;

Jetkanje plinova koji se koriste u procesu jetkanja sloja žrtvenog materijala uključuju O2, CO, N2 i AR;

Parametri u procesu jetkanja sloja žrtvenog materijala su: raspon protoka O2 je 18 SCCM ~ 22 SCCM, a brzina protoka CO je 10%.

Brzina protoka kreće se od 90 SCCM do 110 SCCM, brzina protoka N2 kreće se od 90 SCCM do 110 SCCM i brzina protoka AR.

Raspon je 90 SCCM ~ 110 SCCM, raspon tlaka je 90 mTOR ~ 110 mTOR, a snaga pristranosti je

540W ～ 660W。