Primjenjivo na senzor tlaka Common Rail goriva Passat 06E906051K

1. Metoda za formiranje senzora tlaka, koja se sastoji od:

Osiguravanje poluvodičkog supstrata, pri čemu su prvi međuslojni dielektrični sloj, prvi međuslojni dielektrični sloj i drugi međuslojni dielektrični sloj formirani na poluvodičkom supstratu.

Donja elektrodna ploča u prvom međuslojnom dielektričnom sloju, prva zajednička elektroda smještena na istom sloju kao donja elektrodna ploča i razmaknuta.

Povezivanje slojeva;

Formiranje žrtvenog sloja iznad donje polarne ploče;

Formiranje gornje elektrodne ploče na prvom međuslojnom dielektričnom sloju, prvom međusobnom spojnom sloju i žrtvovanom sloju;

Nakon formiranja žrtvovanog sloja, a prije formiranja gornje ploče, u prvom međusloju

Formiranje priključnog utora i punjenje spojnog utora s gornjom pločom za električno povezivanje s prvim međuspojnim slojem; Ili,

Nakon formiranja gornje elektrodne ploče, nastaju spojni utori u gornjoj elektrodnoj ploči i prvom međusobnom sloju, koji

Formiranje vodljivog sloja koji povezuje gornju elektrodnu ploču i prvi spojni sloj u spojnom utoru;

Nakon električnog povezivanja gornje ploče i prvog međusobnog sloja, uklanjanje žrtvenog sloja kako bi se formirala šupljina.

2. Metoda za izradu senzora tlaka prema zahtjevu 1, naznačena time, da je u prvom sloju

Metoda za formiranje žrtvenog sloja na međuslojnom dielektričnom sloju sastoji se od sljedećih koraka:

Nanošenje sloja žrtvenog materijala na prvi međuslojni dielektrični sloj;

Oblikovanje sloja žrtvenog materijala kako bi se formirao žrtveni sloj.

3. Metoda za izradu senzora tlaka prema zahtjevu 2, naznačena time što se koriste fotolitografija i graviranje.

Sloj žrtvenog materijala oblikovan je postupkom jetkanja.

4. Metoda za izradu senzora tlaka prema zahtjevu 3, naznačena time, da žrtvovani sloj

Materijal je amorfni ugljik ili germanij.

5. Metoda za izradu senzora tlaka prema zahtjevu 4, naznačena time, da žrtvovani sloj

Materijal je amorfni ugljik;

Plinovi za jetkanje koji se koriste u procesu jetkanja sloja žrtvenog materijala uključuju O2, CO, N2 i Ar;

Parametri u procesu jetkanja sloja žrtvenog materijala su: raspon protoka O2 je 18 SCCM ~ 22 SCCM, a protok CO je 10%.

Protok se kreće od 90 SCCM do 110 SCCM, protok N2 se kreće od 90 SCCM do 110 SCCM, a protok Ar.

Raspon je 90 SCCM ~ 110 SCCM, raspon tlaka je 90 mtor ~ 110 mtor, a prednaponska snaga je

540w ~ 660w.