Prikladno za Hitachi KM11 senzor tlaka ulja EX200-2-3-5

Četiri tlačne tehnologije senzora tlaka

1. Kapacitivni

kapacitivne senzore tlaka obično favorizira velik broj OEM profesionalnih aplikacija. Otkrivanje promjena kapacitivnosti između dviju površina omogućuje ovim senzorima da osjete iznimno niske razine tlaka i vakuuma. U našoj tipičnoj konfiguraciji senzora, kompaktno kućište sastoji se od dvije blisko razmaknute, paralelne i električki izolirane metalne površine, od kojih je jedna u biti dijafragma koja se može lagano saviti pod pritiskom. Ove čvrsto pričvršćene površine (ili ploče) montirane su tako da savijanje sklopa mijenja razmak između njih (zapravo formirajući promjenjivi kondenzator). Rezultirajuća promjena detektira se osjetljivim linearnim usporednim krugom s (ili ASIC-om), koji pojačava i emitira proporcionalni signal visoke razine.

2. KVB vrsta

Metoda proizvodnje kemijskog taloženja iz pare (ili "CVD") povezuje sloj polisilicija s dijafragmom od nehrđajućeg čelika na molekularnoj razini, čime se proizvodi senzor s izvrsnim dugoročnim performansama pomicanja. Uobičajene proizvodne metode poluvodiča serijske obrade koriste se za stvaranje polisilikonskih mostova za mjerenje naprezanja s izvrsnim performansama po vrlo razumnoj cijeni. CVD struktura ima izvrsnu isplativost i najpopularniji je senzor u OEM aplikacijama.

3. Vrsta filma za prskanje

Taloženje filma raspršivanjem (ili "film") može stvoriti senzor s maksimalnom kombiniranom linearnošću, histerezom i ponovljivošću. Točnost može iznositi čak 0,08% pune skale, dok je dugoročni pomak samo 0,06% pune skale svake godine. Izvanredna izvedba ključnih instrumenata - naš senzor s raspršenim tankim filmom pravo je blago u industriji senzora tlaka.

4. Vrsta MMS-a

Ovi senzori koriste mikrostrojno obrađenu silikonsku (MMS) dijafragmu za otkrivanje promjena tlaka. Silicijska dijafragma izolirana je od medija pomoću 316SS punjenog uljem i oni reagiraju u nizu s tlakom procesne tekućine. MMS senzor usvaja uobičajenu tehnologiju proizvodnje poluvodiča, koja može postići visoku otpornost na napon, dobru linearnost, izvrsne performanse toplinskog šoka i stabilnost u kompaktnom paketu senzora.