Prikladno za hitachi km11 senzor tlaka ulja Ex200-2-3-5

Četiri tlačne tehnologije senzora tlaka

1. kapacitivan

Kapacitivni senzori tlaka obično favorizira veliki broj OEM profesionalnih aplikacija. Otkrivanje promjena kapacitivnosti između dvije površine omogućava tim senzorima da osjete izuzetno nizak tlak i razinu vakuuma. U našoj tipičnoj konfiguraciji senzora, kompaktno kućište sastoji se od dvije usko raspoređene, paralelne i električno izolirane metalne površine, od kojih je jedna u osnovi dijafragma koja se može malo saviti pod pritiskom. Ove čvrsto fiksne površine (ili ploče) su montirane tako da savijanje sklopa mijenja jaz između njih (zapravo tvore varijabilni kondenzator). Rezultirajuću promjenu otkriva se osjetljivim linearnim komparatorskim krugom s (ili ASIC), koji pojačava i izlazi proporcionalni signal visoke razine.

2.CVD tip

Kemijska taloženje pare (ili "CVD") Metoda proizvodnje povezuje polisilikonski sloj na dijafragmu od nehrđajućeg čelika na molekularnoj razini, stvarajući senzor s izvrsnim dugoročnim performansama nagiba. Za stvaranje mostova mjerača polisilicon s izvrsnim cijenama koriste se uobičajene metode proizvodnje poluvodiča za obradu poluvodiča. CVD struktura ima izvrsne performanse troškova i najpopularniji je senzor u OEM aplikacijama.

3. Tip za raspršivanje filma

Taloženje prskanja filma (ili "film") može stvoriti senzor s maksimalnom kombiniranom linearnošću, histerezom i ponovljivošću. Točnost može biti čak 0,08% pune skale, dok je dugoročni nagib čak 0,06% pune skale svake godine. Izvanredna izvedba ključnih instrumenata-naša ispljubana senzora tankog filma je blago u industriji osjetljivosti na pritisak.

4.MMS tip

Ovi senzori koriste dijafragmu mikro-mahiniranu silicij (MMS) za otkrivanje promjena tlaka. Silikonska dijafragma izolirana je iz medija 316SS ispunjenim uljem, a u nizu reagiraju s tlakom procesne tekućine. MMS Sensor prihvaća uobičajenu tehnologiju proizvodnje poluvodiča, koja može postići visoki otpor napona, dobru linearnost, izvrsne performanse toplinskog udara i stabilnost u kompaktnom senzorskom paketu.