Senzor tlaka jedan je od najčešćih senzora. Tradicionalni senzor tlaka uglavnom je uređaj mehaničke strukture, a deformacija elastičnog dijela pokazuje tlak. Međutim, zbog svoje veličine i težine ne mogu proizvoditi električnu energiju.

Razvoj poluvodičke tehnologije doveo je i do pojave poluvodičkih senzora tlaka. Karakterizira ga mala veličina, mala težina, visoka preciznost i dobra temperaturna učinkovitost. Osobito s razvojem MEMS tehnologije, poluvodički senzori se razvijaju u smjeru minijaturizacije, male potrošnje energije i visoke pouzdanosti.

Uloga senzora tlaka

1. Izravno se koristi za mjerenje različitih tlakova: tlak zraka, hidraulički tlak, hidraulički tlak (uključujući hidraulički tlak), različit krvni tlak u svakodnevnom životu itd.;

2. Senzori tlaka koriste se u automobilima, nekim elitnim motociklima i gotovo svim motorima s unutarnjim izgaranjem;

3. Razina tekućine: Terenska oprema koja se koristi za različita mjerenja razine tekućine su uglavnom senzori tlaka;

4. Većina elektroničkih signala za vaganje i signala za vaganje vozila dolazi od senzora tlaka.

Senzori tlaka se uglavnom koriste za kontrolu i nadzor određenih aplikacija. U automobilskoj industriji MEMS senzori tlaka uglavnom se koriste za mjerenje tlaka goriva, tlaka u gumama, tlaka u zračnom jastuku i tlaka u cjevovodu. U biomedicinskom području MEMS senzori tlaka uglavnom se koriste u dijagnostičkim i detekcijskim sustavima; U zrakoplovnoj industriji MEMS senzori tlaka se uglavnom koriste za kontrolu svemirskih letjelica i položaja svemirskih letjelica;