Najčešće korišteni senzor tlaka poluvodiča koristi silikonski rez N-tipa kao supstrat. Prvo, silikonski rez se izrađuje u elastični dio koji nosi stres s određenom geometrijom. Na dijelu silikonske rezine, koji nose stres, od ove četiri otpornika izrađuju se četiri difuzijskog otpornika P-tipa, a zatim se s ova četiri otpornika formira most od četiri kraljeve. Pod djelovanjem vanjske sile, promjene vrijednosti otpora postaju električni signali. Ovaj most od pšeničnog kamena s pritiskom je srce senzora tlaka, koji se obično naziva piezorezivni most (kao što je prikazano na slici 1). Karakteristike piezorezističnog mosta su sljedeće: ① Vrijednosti otpora četiriju kraka mosta su jednake (svi R0); ② Piezoresistivni učinak susjednih krakova mosta jednak je u vrijednosti i nasuprot u znaku; ③ Koeficijent temperature otpora četiriju kraka mosta je isti, a oni su uvijek na istoj temperaturi. Na Sl. 1, R0 je vrijednost otpora bez naprezanja na sobnoj temperaturi; RT je promjena uzrokovana temperaturnim koeficijentom otpora (α) kada se temperatura promijeni; Υ rΔ je promjena otpornosti uzrokovana naprezanjem (ε); Izlazni napon mosta je u = i0 Δ rΔ = i0rgΔ (most izvora konstantne struje).

Gdje je i0 izvorna struja konstantna struja, a E je konstantni napon napona. Izlazni napon piezorezistivnog mosta izravno je proporcionalan naprezanju (ε) i nema nikakve veze s RT uzrokovanim temperaturnim koeficijentom otpora, što u velikoj mjeri smanjuje temperaturni nagib senzora. Najčešće korišteni senzor tlaka poluvodiča je senzor za otkrivanje tlaka tekućine. Njegova glavna struktura je kapsula izrađena od monokristalnog silicija (kao što je prikazano na slici 2). Dijafragma se izrađuje u šalicu, a dno čaše je dio koji nosi vanjsku silu, a tlačni most se vrši na dnu čaše. Podizanje prstena izrađen je od istog silicijskog jednostrukog kristalnog materijala, a zatim se dijafragma veže na pijedestal. Ovakav senzor tlaka ima prednosti visoke osjetljivosti, malog volumena i čvrstoće, a široko se koristi u zrakoplovstvu, svemirskoj navigaciji, instrumentima za automatizaciju i medicinskim instrumentima.