Uobičajeno korišteni poluvodički senzor tlaka koristi silicijsku pločicu N-tipa kao supstrat.Prvo, silikonska pločica je izrađena u elastični dio koji nosi naprezanje s određenom geometrijom.Na dijelu silicijske pločice koji nosi naprezanje, četiri difuzijska otpornika P-tipa napravljena su duž različitih smjerova kristala, a zatim se s ta četiri otpornika formira četverokraki Wheatstoneov most.Pod djelovanjem vanjske sile promjene vrijednosti otpora postaju električni signali.Ovaj Wheatstoneov most s tlačnim učinkom srce je senzora tlaka, koji se obično naziva piezorezistivni most (kao što je prikazano na slici 1).Karakteristike piezorezistivnog mosta su sljedeće: ① vrijednosti otpora četiri kraka mosta su jednake (svi r0);② Piezootporni učinak susjednih krakova mosta jednake je vrijednosti i suprotnog predznaka;③ Temperaturni koeficijent otpora četiri kraka mosta je isti i uvijek su na istoj temperaturi.Na sl.1, R0 je vrijednost otpora bez naprezanja na sobnoj temperaturi;RT je promjena uzrokovana temperaturnim koeficijentom otpora (α) kada se temperatura promijeni;Υ Rδ je promjena otpora uzrokovana deformacijom (ε);Izlazni napon mosta je u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (most izvora konstantne struje).

Gdje je I0 struja izvora konstantne struje, a e napon izvora konstantnog napona.Izlazni napon piezorezistivnog mosta izravno je proporcionalan deformaciji (ε) i nema nikakve veze s RT uzrokovanom temperaturnim koeficijentom otpora, što uvelike smanjuje temperaturni pomak senzora.Najrašireniji poluvodički senzor tlaka je senzor za detekciju tlaka tekućine.Njegova glavna struktura je kapsula izrađena od monokristalnog silicija (kao što je prikazano na slici 2).Dijafragma je izrađena u obliku čašice, a dno čašice je dio koji nosi vanjsku silu, a na dnu čašice napravljen je tlačni most.Prstenasto postolje izrađeno je od istog monokristalnog materijala silicija, a zatim je dijafragma spojena na postolje.Ova vrsta senzora tlaka ima prednosti visoke osjetljivosti, malog volumena i čvrstoće, a naširoko se koristi u zrakoplovstvu, svemirskoj navigaciji, instrumentima za automatizaciju i medicinskim instrumentima.